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BFI(Bright Field Inspection) 明场缺陷检测系统
BFI(Bright Field Inspection) Wafer Inspection System
BFI-100系列
简介
n 宽波段(紫外光和可见光)光学图形晶圆检测系统
n 高光学分辨率,高检测灵敏度,高产率
Introduction
n Broadband (UV & Visible) opticalpattern wafer inspection system
n High optical resolution, highinspection sensitivity, high throughput
技术
n LSP (Laser Sustained Plasma) 光源
n 多种照明模式
n 高通量数据处理
n 高速自动对焦系统 (Auto Focus)
n 高速和高精密运动控制工件台
Technologies
n LSP (Laser Sustained Plasma) lightsource
n Multiple imaging modes
n High speed data processing
n High speed AF (Auto Focus)system
n High speed & precision motioncontrol stage system
应用
n 先进逻辑和存储图形晶圆的工程分析和产线监控
n 制程监控
• ADI (After Develop Inspection)
• AEI (After Etch Inspection)
• CMP (Chemical Mechanical Polishing)
n 工艺窗口的验证
Application
n Engineering analysis and productionline monitoring for advanced Logic and Memory pattern wafer
n Process Monitoring
• ADI (After Develop Inspection)
• AEI (After Etch Inspection)
• CMP (Chemical Mechanical Polishing)
n Process Window Qualification
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